日本理研RIKEN_侦测器 气体传感器_ FCL-001、FCL-018、FCL-002E

发布时间: 2026/03/19

日本理研RIKEN_侦测器 气体传感器_ FCL-001、FCL-018、FCL-002E

検知対象ガス 分子式 テープ型式 検知範囲
アルシン AsH3
FCL-001 0~15/150ppb
セレン化水素 H2Se 0~200ppb
ホルムアルデヒド HCHO FCL-018 0~0.5/1/5ppm
ホスフィン PH3
FCL-002E
0~900ppb
ジボラン B2H6 0~300ppb
シラン SiH4 0~15ppm
ジシラン Si2H6 0~10ppm